[发明专利]一种定位标识的制作方法有效
| 申请号： | 201911001946.9 | 申请日： | 2019-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN110718534B | 公开（公告）日： | 2022-10-04 |
| 发明（设计）人： | 邹锭 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | H01L23/544 | 分类号： | H01L23/544;H01L21/48 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 杨华 |
| 地址： | 430074 湖北省武汉市洪山区东*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种定位标识的制作方法，包括：提供样品，所述样品为非导电样品；在所述样品待制作定位标识的表面形成导电结构，并使所述导电结构接地，其中，所述导电结构暴露出所述表面待制作定位标识的目标区域；在所述样品表面的目标区域制作定位标识。由于导电结构位于非导电样品待制作定位标识的表面且接地，因此，可以将样品表面的电荷导出，减少样品表面电子或电荷的残留，进而可以提高图像的质量，避免图像的漂移，进而在样品表面的目标区域制作定位标识时，可以解决由于图像漂移等导致定位标识不能准确地制作在目标区域的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 定位 标识 制作方法 | ||
【主权项】：
1.一种定位标识的制作方法，其特征在于，包括：/n提供样品，所述样品为非导电样品；/n在所述样品待制作定位标识的表面形成导电结构，并使所述导电结构接地，其中，所述导电结构暴露出所述表面待制作定位标识的目标区域；/n在所述样品表面的目标区域制作定位标识。/n
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