[发明专利]适用于无前烘工艺的感光性组合物及其制备方法在审

专利信息
申请号: 201911003276.4 申请日: 2019-10-21
公开(公告)号: CN112764315A 公开(公告)日: 2021-05-07
发明(设计)人: 刘云龙;孙涛 申请(专利权)人: 固安鼎材科技有限公司
主分类号: G03F7/027 分类号: G03F7/027;G03F7/004;G02B5/22;G02F1/1335
代理公司: 北京市创世宏景专利商标代理有限责任公司 11493 代理人: 崔永华
地址: 065500 河*** 国省代码: 河北;13
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摘要: 一种适用于无前烘工艺的感光性组合物,包括碱溶性树脂、感光性单体、光引发剂和沸点低于200℃的溶剂;其中,所述碱溶性树脂选自丙烯酸树脂、丙烯酸酯树脂中的一种或多种,所述碱溶性树脂的酸值为50~180mg KOH/g,重均分子量为2000~20000,且至少一碱溶性树脂的双键当量为400~800g/mol;所述碱溶性树脂的用量为100重量份,所述感光性单体的用量为50~400重量份,所述光引发剂的用量为碱溶性树脂和感光性单体的总重量的3%~9%。本发明的感光性组合物无需前烘工艺即可固化形成性能良好的光阻薄膜,能够作为彩色光刻胶使用,以便制备出性能良好的彩色滤光片。
搜索关键词: 适用于 无前 工艺 感光性 组合 及其 制备 方法
【主权项】:
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