[发明专利]一种基于圆光栅径向剪切干涉仪的三维位移测量方法有效
申请号: | 201911003526.4 | 申请日: | 2019-10-22 |
公开(公告)号: | CN110608677B | 公开(公告)日: | 2021-04-06 |
发明(设计)人: | 王佳;吴慎将;苏俊宏;李党娟;张维光;程军霞;王佳超;刘荣明 | 申请(专利权)人: | 西安工业大学 |
主分类号: | G01B11/02 | 分类号: | G01B11/02 |
代理公司: | 西安新思维专利商标事务所有限公司 61114 | 代理人: | 黄秦芳 |
地址: | 710032 陕*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本发明涉及一种基于圆光栅径向剪切干涉仪的三维位移测量方法。现有的基于莫尔条纹方法的三维位移测量过程中需要移动探测器,无法实现瞬时测量,并且会引入探测器位置误差。本发明采用的装置包括圆光栅径向剪切干涉仪、半圆环形的空间滤波器和二维图像探测器。首先,利用半圆环形空间滤波器在径向剪切干涉仪的频谱面上对1级频谱的一半进行滤波,二维图像探测器位于径向剪切干涉仪的成像面上,可以同时获得+1和‑1衍射级次的莫尔条纹图像。然后,对莫尔条纹图像进行坐标变换、去噪、二值化、细化处理,获得亮条纹骨架图。最后,利用亮条纹的位置关系,反演出三维位移分量。该方法具有瞬时测量、精度高、适应性强等优点,较好地解决了三维位移的实时测量问题。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 圆光 径向 剪切 干涉仪 三维 位移 测量方法 | ||
【主权项】:
1.一种基于圆光栅径向剪切干涉仪的三维位移测量方法,其特征在于:首先利用圆光栅径向剪切干涉仪,并结合空间滤波方法,同时获得+1和-1衍射级次的莫尔条纹;然后对莫尔条纹进行图像处理,获得极坐标系中的亮条纹骨架图;最后根据莫尔条纹结构和三维位移量的精确关系,定量反演出三维位移分量。/n
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