[发明专利]兼顾棒状光源聚焦功率及谱密度均衡的装置及光声光谱仪有效
申请号: | 201911003586.6 | 申请日: | 2019-10-18 |
公开(公告)号: | CN110702610B | 公开(公告)日: | 2022-12-23 |
发明(设计)人: | 范元媛;颜博霞;邱乙耕;齐月静;马敬;亓岩 | 申请(专利权)人: | 中国科学院微电子研究所 |
主分类号: | G01N21/17 | 分类号: | G01N21/17;G01N21/01 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 吴梦圆 |
地址: | 100029 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 一种兼顾棒状光源聚焦功率及谱密度均衡的装置及光声光谱仪,该装置包括:棒状光源,为类黑体辐射的棒状发光体;收集单元,包括收集镜,所述收集镜内凹的一侧为呈高阶非球面面型的收集作用面,所述收集作用面罩设于所述棒状光源外,且在所述收集作用面上设置有高反射金属膜,用于对所述棒状光源发出的光进行反射聚焦;整形单元,包括整形镜,所述整形镜设置于收集作用面相对一侧,所述整形镜上凸设有呈高阶非球面面型的整形作用面,且在所述整形作用面上设置有光学反射膜,用于对所述收集作用面反射的光进行选择性部分透射,通过谱裁剪实现谱密度均衡。本发明同时实现光功率谱密度的均衡输出,为后续光声光谱探测灵敏度的提升提供保障。 | ||
搜索关键词: | 兼顾 光源 聚焦 功率 密度 均衡 装置 声光 | ||
【主权项】:
1.一种兼顾棒状光源聚焦功率及谱密度均衡的装置,其特征在于,包括:/n棒状光源,为类黑体辐射的棒状发光体;/n收集单元,包括收集镜,所述收集镜内凹的一侧为呈高阶非球面面型的收集作用面,所述收集作用面罩设于所述棒状光源外,且在所述收集作用面上设置有高反射金属膜,用于对所述棒状光源发出的光进行反射聚焦;/n整形单元,包括整形镜,所述整形镜设置于收集作用面相对一侧,所述整形镜上凸设有呈高阶非球面面型的整形作用面,且在所述整形作用面上设置有光学反射膜,用于对所述收集作用面反射的光进行选择性部分透射,通过谱裁剪实现谱密度均衡。/n
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