[发明专利]一种高灵敏度压电式气压传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 201911003618.2 | 申请日： | 2019-10-22 |
| 公开（公告）号： | CN110686823A | 公开（公告）日： | 2020-01-14 |
| 发明（设计）人： | 陈蓉;陈志平;曹坤;熊英飞;李易诚;完颜剑峰 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学 |
| 主分类号： | G01L9/08 | 分类号： | G01L9/08;G01L19/00 |
| 代理公司： | 42201 华中科技大学专利中心 | 代理人： | 梁鹏;曹葆青 |
| 地址： | 430074 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明属于压电传感器领域，并公开了一种高灵敏度压电式气压传感器及其制备方法。该气压传感器自上而下包括阻隔层、功能层和腔体层，其中，阻隔层为弹性薄膜，用于保护功能层不受外界的侵蚀；功能层包括云母薄膜、压电薄膜和电极，云母薄膜作为压电薄膜的载体，压电薄膜附着在云母薄膜上，电极设置在压电薄膜上；腔体层设置在功能层的下方，该腔体层的基底和功能层形成密封的空腔；当外界的气压与空腔内的气压形成气压差时，压电薄膜发生形变并将该形变转变为电信号，电极将该电信号传递给检测装置，以此实现气压的检测。本发明还公开了上述气压传感器的制备方法。通过本发明，制备的气压传感器的柔性好，灵敏度高。 | ||
| 搜索关键词： | 压电薄膜 气压传感器 功能层 云母薄膜 腔体层 气压 制备 阻隔层 电极 形变 空腔 电信号传递 压电传感器 保护功能 弹性薄膜 电极设置 高灵敏度 检测装置 灵敏度 气压差 压电式 附着 基底 密封 侵蚀 检测 | ||
【主权项】：
1.一种高灵敏度压电式气压传感器，其特征在于，该气压传感器自上而下包括阻隔层、功能层和腔体层，其中，/n所述阻隔层为弹性薄膜，用于保护所述功能层不受外界的侵蚀；/n所述功能层包括云母薄膜、压电薄膜和电极，所述云母薄膜作为所述压电薄膜的载体，所述压电薄膜附着在所述云母薄膜上，所述电极设置在所述压电薄膜上，用于将所述压电薄膜上产生的电信号引出；/n所述腔体层设置在所述功能层的下方，该腔体层的基底和所述功能层形成密封的空腔；/n当外界的气压与所述空腔内的气压形成气压差时，所述压电薄膜发生形变并将该形变转变为电信号，所述电极将该电信号传递给检测装置，以此实现气压的检测。/n
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