[发明专利]一种气体转移泵输系统及方法有效
| 申请号： | 201911004685.6 | 申请日： | 2019-10-22 |
| 公开（公告）号： | CN110714904B | 公开（公告）日： | 2021-06-15 |
| 发明（设计）人： | 熊义富;唐涛;敬文勇;刘浪;张光辉;吴文清;雷强华;杨飞龙 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院材料研究所 |
| 主分类号： | F04B41/06 | 分类号： | F04B41/06;F04B37/14;F04B49/06;F04B49/08;F04B49/22;F04B49/24 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 刘凤玲 |
| 地址： | 621700 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开一种气体转移泵输系统及方法，所述系统包括：第一容器，用于存储原始气体；升压单元，用于对原始气体进行升压至第二压力设定值得到第二升压气体；第二容器，用于存储第二升压气体；压力传感单元，用于测量气体压力值；控制单元，用于根据气体压力值控制升压单元并获取升压单元参数，以使根据升压单元参数判断升压单元的工作状态；真空单元，用于对升压单元和管路进行抽真空。本发明通过真空单元进行抽真空，提高了气体品位，控制单元通过压力传感单元传送过来的气体压力值控制升压单元，实现气体完美升压且提高了升压单元的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 气体 转移 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种气体转移泵输系统，其特征在于，所述气体转移泵输系统包括：/n第一容器，用于存储原始气体；/n升压单元，与所述第一容器通过管路连通，用于对所述原始气体进行升压至第二压力设定值得到第二升压气体；/n第二容器，与所述升压单元通过管路连通，用于存储所述第二升压气体；/n压力传感单元，分别与所述升压单元、所述第一容器和所述第二容器连接，用于测量气体压力值；/n控制单元，分别与所述压力传感单元和所述升压单元连接，用于根据所述气体压力值控制所述升压单元并获取所述升压单元参数，以使根据所述升压单元参数判断所述升压单元的工作状态；/n真空单元，与所述升压单元通过管路连通，用于对所述升压单元和管路进行抽真空。/n
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