[发明专利]一种大面积均匀的脉冲激光溅射镀膜装置在审
| 申请号： | 201911005892.3 | 申请日： | 2019-10-22 |
| 公开（公告）号： | CN110592541A | 公开（公告）日： | 2019-12-20 |
| 发明（设计）人： | 孙辉;高婷 | 申请（专利权）人： | 武汉奥亿特科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/50 |
| 代理公司： | 31253 上海精晟知识产权代理有限公司 | 代理人： | 周琼 |
| 地址： | 430000 湖北省武汉*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种大面积均匀的脉冲激光溅射镀膜装置，包括箱体，箱体的底部固定连接有支撑腿，箱体的两侧均固定连接有进光筒，两个进光筒相对的一端均贯穿箱体并延伸至箱体的内部，进光筒内壁的顶部与底部均固定连接有滑轨，并且两个滑轨相对的一侧之间滑动连接有第一活动板，本发明涉及激光溅射镀膜技术领域。该大面积均匀的脉冲激光溅射镀膜装置，两侧可以同时射入激光，能够保证在温度不变的前提下，调整光斑的大小，从而增大镀膜面积，使镀膜更均匀，光斑能够打在靶材不同的位置，使靶材两边能够同时进行溅射镀膜工作，加快了工作效率，激光能够投射在靶材不同的位置，提高靶材的利用率，实用性更高。 | ||
| 搜索关键词： | 靶材 进光筒 溅射镀膜装置 光斑 脉冲激光 镀膜 滑轨 激光 激光溅射镀膜 第一活动板 工作效率 滑动连接 溅射镀膜 支撑腿 内壁 射入 投射 两边 贯穿 延伸 保证 | ||
【主权项】：
1.一种大面积均匀的脉冲激光溅射镀膜装置，包括箱体(1)，所述箱体(1)的底部固定连接有支撑腿(2)，其特征在于：所述箱体(1)的两侧均固定连接有进光筒(3)，两个所述进光筒(3)相对的一端均贯穿箱体(1)并延伸至箱体(1)的内部，所述进光筒(3)内壁的顶部与底部均固定连接有滑轨(4)，并且两个滑轨(4)相对的一侧之间滑动连接有第一活动板(5)，所述第一活动板(5)的内部固定连接有聚光镜(6)，并且第一活动板(5)左侧的顶部与底部均固定连接有连接杆(7)，两个所述连接杆(7)远离第一活动板(5)的一端均贯穿进光筒(3)并延伸至进光筒(3)的外部，两个所述连接杆(7)位于进光筒(3)外部的一端均固定连接有第二活动板(8)，所述进光筒(3)表面的正面与背面均固定连接有第一伸缩杆(9)，两个所述第一伸缩杆(9)的输出端均与第二活动板(8)的右侧固定连接，所述进光筒(3)内部的右侧固定连接有滤脏玻璃(10)，所述箱体(1)底部的两侧均固定连接有第二伸缩杆(11)，两个所述第二伸缩杆(11)的输出端且位于箱体(1)的内部均固定连接有第一活动框(12)。/n
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