[发明专利]压印光刻用复制模制作装置及其制作方法有效
| 申请号： | 201911008058.X | 申请日： | 2019-10-22 |
| 公开（公告）号： | CN111208708B | 公开（公告）日： | 2021-05-28 |
| 发明（设计）人： | 具滋鹏;金泰完;权相民;郑熙锡 | 申请（专利权）人： | 吉佳蓝科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 金鲜英;张敬强 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明公开一种压印光刻用复制模制作装置及压印方法。本发明的一方面的压印光刻用复制模制作装置构成为包括：辊转印部，其以辊压方式将模转印于由一侧供应的树脂膜的下面；树脂膜供应部，其使待转印所述模的树脂膜断续地退卷至所述辊转印部，而向所述辊转印部进行供应；以及模膜回收部，其断续地卷取通过所述辊转印部在树脂膜的一侧的表面以规定间距贴附所述模的模膜。 | ||
| 搜索关键词： | 压印 光刻 复制 制作 装置 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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