[发明专利]一种掩模制作装置及制作方法有效
| 申请号： | 201911008393.X | 申请日： | 2019-10-22 |
| 公开（公告）号： | CN112695272B | 公开（公告）日： | 2022-03-15 |
| 发明（设计）人： | 周畅;黄元昊;罗闻 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;G01B11/00;G01B11/25;G01S17/08 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开一种掩模制作装置，包括：张网模块，用于拉伸掩模，并将所述掩模传送至掩模框架上；掩模检测模块，用于检测所述掩模条在所述掩模框架上的位置信息；掩模固定模块，用于将所述掩模固定在所述掩模框架上；第一位移测量模块，用于测量所述张网模块和所述掩模固定模块的位置信息。通过第一位移测量模块精确确定掩模检测模块的位置信息，进而可以更精确的获取掩模的实际位置，从而通过调整张网模块的拉伸和位移，使掩模更精确的移动到预设的位置，从而提高掩模相对掩模框架放置的位置精度；以及通过第一位移测量模块精确确定掩模固定模块的位置信息，提高掩模固定模块对掩模和掩膜框架的固定精度，从而提高了金属掩模版的制作精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 制作 装置 制作方法 | ||
【主权项】：
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