[发明专利]一种耐高温石英挠性加速度计伺服电路及其加工方法在审
| 申请号： | 201911008457.6 | 申请日： | 2019-10-22 |
| 公开（公告）号： | CN110579625A | 公开（公告）日： | 2019-12-17 |
| 发明（设计）人： | 张明;阮晓明;徐鑫;赵国良 | 申请（专利权）人： | 西安微电子技术研究所 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125 |
| 代理公司： | 61200 西安通大专利代理有限责任公司 | 代理人： | 张海平 |
| 地址： | 710065 陕西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种耐高温石英挠性加速度计伺服电路及其加工方法，包括电容电压转换器、跨导/补偿放大器和反馈网络，所述电容电压转换器包括差动电容检测器和积分网络，差动电容检测器与加速度计表头的差动电容传感器连接，差动电容检测器、积分网络和跨导/补偿放大器依次连接，跨导/补偿放大器与加速度计表头的力矩器连接；反馈网络与跨导/补偿放大器连接；所述的伺服电路全部元器件采用耐150℃高温元器件，全部元器件采用厚膜混合集成工艺封装在厚膜陶瓷基板上。通过与耐高温加速度传感器匹配，可提升加速度系统模块器件的耐高温能力，完成极端环境下对加速度的测量。 | ||
| 搜索关键词： | 补偿放大器 检测器 差动电容 电容电压转换器 加速度计表头 反馈网络 积分网络 伺服电路 元器件 差动电容传感器 加速度传感器 挠性加速度计 高温元器件 耐高温能力 耐高温石英 厚膜混合 厚膜陶瓷 极端环境 集成工艺 系统模块 依次连接 力矩器 耐高温 基板 封装 匹配 测量 加工 | ||
【主权项】：
1.一种耐高温石英挠性加速度计伺服电路，其特征在于，包括电容电压转换器、跨导/补偿放大器和反馈网络，所述电容电压转换器包括基准三角波发生器、差动电容检测器和积分网络，差动电容检测器与加速度计表头的差动电容传感器连接，差动电容检测器、积分网络和跨导/补偿放大器依次连接，跨导/补偿放大器与加速度计表头的力矩器连接；反馈网络与跨导/补偿放大器连接；所述的伺服电路全部元器件采用耐150℃以上高温元器件，全部元器件采用厚膜混合集成工艺封装在厚膜陶瓷基板上。/n
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