[发明专利]一种铝合金表面高硬耐磨TiN/TiAlSiN复合涂层及其制备方法在审
申请号: | 201911008813.4 | 申请日: | 2019-10-21 |
公开(公告)号: | CN110670029A | 公开(公告)日: | 2020-01-10 |
发明(设计)人: | 张高会;汪阳;汪凯;李红卫;李凤鸣;乔宪武 | 申请(专利权)人: | 中国计量大学 |
主分类号: | C23C14/32 | 分类号: | C23C14/32;C23C14/02;C23C14/06;C23C14/16 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 310018 浙江省杭*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明公开了一种铝合金表面高硬耐磨TiN/TiAlSiN复合涂层,其特征在于,包括铝合金、Ti层、TiN层和TiAlSiN层,所述Ti层镀在铝合金表面作为过渡层,所述TiN层与TiAlSiN层交替沉积在Ti过渡层之上。本发明还公开了一种铝合金表面高硬耐磨TiN/TiAlSiN复合涂层及其制备方法。本发明通过多弧离子镀工艺将Ti单质靶和Ti‑Al‑Si合金靶在铝合金表面沉积以Ti层为过渡层、TiN层和TiAlSiN层交替沉积的复合涂层。本发明获得的铝合金表面高硬耐磨TiN/TiAlSiN复合涂层技术改变了铝合金硬度低、耐磨性差的缺点,使铝合金的硬度和耐磨性明显提升,进一步拓宽铝合金的应用领域。 | ||
搜索关键词: | 铝合金表面 复合涂层 过渡层 铝合金 耐磨 耐磨性 交替沉积 多弧离子镀 铝合金硬度 合金靶 单质 沉积 制备 | ||
【主权项】:
1.铝合金表面高硬耐磨TiN/TiAlSiN复合涂层,其特征在于,包括铝合金、Ti、TiN和TiAlSiN层,所述Ti层作为过渡层镀在铝合金表面,所述TiN层与TiAlSiN层交替沉积在Ti过渡层之上。/n
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