[发明专利]真空腔室动密封驱动总成在审
申请号: | 201911009466.7 | 申请日: | 2019-10-23 |
公开(公告)号: | CN110594385A | 公开(公告)日: | 2019-12-20 |
发明(设计)人: | 宋德鹏;于涛 | 申请(专利权)人: | 济南力冠电子科技有限公司 |
主分类号: | F16H37/12 | 分类号: | F16H37/12;F16J15/16 |
代理公司: | 37257 山东众成清泰律师事务所 | 代理人: | 丁修亭 |
地址: | 250119 山东省济南市天桥区桑梓*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本发明公开了一种真空腔室动密封驱动总成,其基本结构包括:管架,为直管体,该直管体的轴向为预定的直线运动方向,且该直管体的一端与真空腔室间固定连接;直线驱动部,固定安装管架的另一端;托板,位于管架内,并由所述直线驱动部的输出构件所驱动;托杆,通过第一轴承安装在托板上,为驱动总成的驱动对象;键套,通过第二轴承安装在管架内,并与托杆间形成键连接,使托杆具有轴向的自由度和基于键套的周向自由度;以及旋转驱动部,安装在管架上,并输出驱动所述键套,以使托杆具有预定的旋转运动。依据本发明的驱动总成在实现复合运动的条件下能够具有较好的密封效果。 | ||
搜索关键词: | 管架 托杆 驱动总成 直管体 键套 真空腔室 直线驱动 轴承安装 托板 轴向 直线运动方向 旋转驱动部 周向自由度 复合运动 密封效果 驱动对象 输出构件 输出驱动 动密封 键连接 驱动 | ||
【主权项】:
1.一种真空腔室动密封驱动总成,其特征在于,包括:/n管架,为直管体,该直管体的轴向为预定的直线运动方向,且该直管体的一端与真空腔室间固定连接;/n直线驱动部,固定安装管架的另一端;/n托板,位于管架内,并由所述直线驱动部的输出构件所驱动;/n托杆,通过第一轴承安装在托板上,为驱动总成的驱动对象;/n键套,通过第二轴承安装在管架内,并与托杆间形成键连接,使托杆具有轴向的自由度和基于键套的周向自由度;以及/n旋转驱动部,安装在管架上,并输出驱动所述键套,以使托杆具有预定的旋转运动。/n
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