[发明专利]半导体或光伏材料的加工装置有效
| 申请号： | 201911011102.2 | 申请日： | 2019-10-23 |
| 公开（公告）号： | CN110931339B | 公开（公告）日： | 2022-04-22 |
| 发明（设计）人： | 刘群;徐栋;林佳继;朱太荣;林依婷 | 申请（专利权）人： | 深圳市拉普拉斯能源技术有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/673;H01L31/18 |
| 代理公司： | 杭州天昊专利代理事务所(特殊普通合伙) 33283 | 代理人： | 董世博 |
| 地址： | 518118 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 半导体或光伏材料的加工装置，包括方舟结构、半导体或光伏材料的加工结构；方舟结构放置在半导体或光伏材料的加工结构上，半导体或光伏材料加工结构的电极结构与方舟结构的电极柱相连接；半导体或光伏材料的加工结构包括炉体本体、炉门，炉门，炉门上设置电极结构，炉门上设置调整装置，调整装置包括弧形接触面和支撑块，弧形接触面设置在支撑块与炉门之间，支撑块或炉门相应位置处设置有与弧形接触面相匹配的结构；本发明提供了一种结构简单、电极机构设计合理、且于炉门完美结合实现方舟片纵向放置，并能快速调节炉门达到具有良好密封效果的半导体或光伏材料的加工设备。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体 材料 加工 装置 | ||
【主权项】：
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