[发明专利]一种玻璃化学蚀刻速率在线检测装置和方法有效
| 申请号： | 201911011961.1 | 申请日： | 2019-10-23 |
| 公开（公告）号： | CN112697680B | 公开（公告）日： | 2023-04-28 |
| 发明（设计）人： | 王宝军;袁枫;秦淑斌;吴楠;魏超;王志;王文磊;杨金耋;邵彦杰 | 申请（专利权）人： | 航天科工惯性技术有限公司 |
| 主分类号： | G01N17/00 | 分类号： | G01N17/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100074 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种玻璃化学蚀刻速率在线检测装置及方法，通过夹持工具夹将待蚀刻玻璃以及与预减薄厚度相同的蚀刻试片放入化学蚀刻溶液里；激光发生器及传感器发射激光到蚀刻试片上，激光的反射传感信号传递到信号处理单元；当信号处理单元接收不到激光发生器及传感器激光反射信号时，立刻将夹持在玻璃夹持工具上的待蚀刻玻璃从化学蚀刻液中取出，放入清水中清洗，完成化学蚀刻操作，记录蚀刻时间T′,蚀刻速率V′＝D/T′。本装置和方法结构简单，灵活性高，精度高，能实时在线动态测量玻璃化学蚀刻速率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 玻璃 化学 蚀刻 速率 在线 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
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