[发明专利]掩膜版张网装置及张网方法有效
| 申请号： | 201911012810.8 | 申请日： | 2019-10-23 |
| 公开（公告）号： | CN110629157B | 公开（公告）日： | 2022-02-22 |
| 发明（设计）人： | 范柳彬;李文星;张蔡星;付佳;李金库 | 申请（专利权）人： | 昆山国显光电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/12;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京华进京联知识产权代理有限公司 11606 | 代理人： | 李红艳 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种掩膜版张网装置及张网方法，通过在支撑架上的沿Y轴方向延伸的两条第二边框上分别设置相对的第一磁体和第二磁体，当沿Y轴方向拉伸子掩膜版时，子掩膜版在拉力作用下磁性金属边框内缩发生形变，此时第一磁体和第二磁体可沿X轴正方向和X轴负方向上分别对磁性金属边框施加方向相反的磁力，在磁力作用下可缓解磁性金属边框的形变，缓解拉伸子掩膜版造成的形变，提高掩膜版精度，进而提高显示面板的良率。另外，将子掩膜版与支撑架固定，还可以提升子掩膜版的强度，可以提高掩膜版蒸镀及清洗过程中的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 掩膜版张网 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种掩膜版张网装置，用于固定子掩膜版，所述子掩膜版包括沿Y轴方向延伸的两条磁性金属边框，其特征在于，所述掩膜版张网装置包括：/n支撑架，所述支撑架包括沿X轴方向延伸的两条第一边框和沿Y轴方向延伸的两条第二边框，所述X轴方向与所述Y轴方向垂直；/n至少一个第一磁体和至少一个第二磁体，分别设置于所述支撑架的两条第二边框上，所述第一磁体和所述第二磁体相对设置，用于沿所述X轴方向分别对所述子掩膜版的磁性金属边框施加方向相反的磁力。/n
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