[发明专利]一种用于氧化锌晶体氧面抛光的抛光液及其制备方法有效
申请号: | 201911012859.3 | 申请日: | 2019-10-23 |
公开(公告)号: | CN110938378B | 公开(公告)日: | 2021-08-27 |
发明(设计)人: | 孙韬 | 申请(专利权)人: | 宁波日晟新材料有限公司 |
主分类号: | C09G1/02 | 分类号: | C09G1/02 |
代理公司: | 宁波知坤专利代理事务所(特殊普通合伙) 33312 | 代理人: | 朱玉泉 |
地址: | 315410 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明公开了一种用于氧化锌晶体氧面抛光的抛光液,所述抛光液由以下原料组成:磨料、电解质、表面活性剂和去离子水;并采用pH调节剂将所述抛光液的pH值调节至2.5‑6.0。本发明的抛光液,解决了氧化锌晶体的含氧晶面抛光效率低和表面容易出现橘皮现象的技术问题;同时,抛光表面无坑点、无划伤,完全满足后道电子元器件的生产要求。本发明还公开了一种用于氧化锌晶体氧面抛光的抛光液的制备方法。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 氧化锌 晶体 抛光 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
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