[发明专利]一种瞬态角蛋白阻变存储器的制备方法在审
| 申请号： | 201911013392.4 | 申请日： | 2019-10-23 |
| 公开（公告）号： | CN110718629A | 公开（公告）日： | 2020-01-21 |
| 发明（设计）人： | 唐孝生;林琪琪;胡伟;张孟;叶怀宇;张国旗 | 申请（专利权）人： | 深圳第三代半导体研究院 |
| 主分类号： | H01L45/00 | 分类号： | H01L45/00 |
| 代理公司： | 11226 北京中知法苑知识产权代理有限公司 | 代理人： | 阎冬 |
| 地址： | 518055 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种瞬态角蛋白阻变存储器制备方法，在常温下溶解可溶性角蛋白粉，旋涂制成膜后低温退火20‑50min。接着盖上掩膜板，在上面蒸发沉积一层约90‑120nm的Ag电极。制得基于人发角蛋白的瞬态阻变存储器件。本发明还具体公开了制备步骤，并测试了角蛋白材料性能和阻变器件的电学性能，还证明了存储器件具有可重复且可靠的非易失性存储器行为，同时具有多级存储效果。潜在的电阻切换机制归因于Ag导电细丝的形成和断裂。其器件瞬态特性表现为介电层角蛋白薄膜可以在30min内完全溶解在去离子水中。生物瞬态阻变器件可以补充传统阻变器件的局限性，成为一种新型的绿色安全的阻变存储器件，有望应用在生物医学方面。 | ||
| 搜索关键词： | 阻变器件 角蛋白 瞬态 阻变存储器件 制备 非易失性存储器 可溶性角蛋白 角蛋白材料 阻变存储器 存储器件 导电细丝 低温退火 电学性能 电阻切换 多级存储 生物医学 瞬态特性 完全溶解 蒸发沉积 常温下 介电层 可重复 潜在的 掩膜板 电极 人发 水中 旋涂 薄膜 离子 断裂 溶解 测试 补充 应用 表现 安全 | ||
【主权项】：
1.一种瞬态角蛋白阻变存储器的制备方法，包括以下制备步骤：/n1)溶解角蛋白，进行过滤，得到角蛋白溶液；/n2)所述制备完成角蛋白溶液经过旋涂烘烤形成角蛋白薄膜；/n3)超声处理FTO/玻璃透明导电基板，氮气干燥，臭氧清洗；/n4)真空蒸镀沉积Ag电极在的角蛋白薄膜上，形成Ag/角蛋白/FTO存储器件。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳第三代半导体研究院，未经深圳第三代半导体研究院许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201911013392.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
