[发明专利]超声波元件及超声波装置有效

专利信息
申请号: 201911013466.4 申请日: 2019-10-23
公开(公告)号: CN111084637B 公开(公告)日: 2023-01-03
发明(设计)人: 铃木博则;小岛力;大桥幸司;松本泰幸;今井克浩 申请(专利权)人: 精工爱普生株式会社
主分类号: A61B8/00 分类号: A61B8/00;A61B8/13;H04R17/00
代理公司: 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 代理人: 李丹
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明提供了能够得到所期望的声音特性的超声波元件及超声波装置。超声波元件具备:元件基板,具有第一面、与第一面成为表里关系的第二面、贯通第一面至第二面的开口部以及包围开口部的隔壁部;支承膜,设置在元件基板的第一面且覆盖开口部,并具有面对开口部的第三面以及与第三面成为表里关系的第四面;压电元件,设置在支承膜的第四面,在从第三面朝向第四面的膜厚方向进行俯视观察时,配置在支承膜的与开口部重叠的区域;保护板,设置成与支承膜的第四面对置,通过粘合部件经由朝向支承膜突出的梁部接合至支承膜;以及壁部,设置在支承膜的第四面,在梁部和压电元件之间设置成朝向保护板突出。
搜索关键词: 超声波 元件 装置
【主权项】:
暂无信息
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