[发明专利]柔性垂直结构NPB/氮掺杂石墨烯纳米异质结紫外探测器及其制备方法有效

专利信息
申请号: 201911016448.1 申请日: 2019-10-24
公开(公告)号: CN110739399B 公开(公告)日: 2023-04-07
发明(设计)人: 唐利斌;才玉华;胡松文;郭骞 申请(专利权)人: 昆明物理研究所
主分类号: H10K30/10 分类号: H10K30/10;H10K30/80;H10K71/16;H10K30/81
代理公司: 昆明祥和知识产权代理有限公司 53114 代理人: 和琳
地址: 650000 云*** 国省代码: 云南;53
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摘要: 柔性垂直结构NPB/氮掺杂石墨烯纳米异质结紫外探测器及其制备方法,属于光电子技术领域,尤其是一种柔性垂直结构NPB/氮掺杂石墨烯纳米异质结紫外探测器及其制备方法。该探测器自下而上依次是:聚酯薄膜层、ITO薄膜阳极电极层、氮掺杂石墨烯薄膜层、NPB薄膜层及、Al阴极电极层。探测器是在ITO薄膜阳极电极层上依次转移已制备好的氮掺杂石墨烯薄膜层,高真空蒸镀NPB薄膜层和Al阴极电极层获得。本发明的探测器为光伏型柔性紫外探测器,可以在零偏置或低电压偏置条件下工作,因此器件功耗低,高探测率。
搜索关键词: 柔性 垂直 结构 npb 掺杂 石墨 纳米 异质结 紫外 探测器 及其 制备 方法
【主权项】:
1.柔性垂直结构NPB/氮掺杂石墨烯纳米异质结紫外探测器,其特征在于该探测器自下而上依次是:聚酯薄膜层、ITO薄膜阳极电极层、氮掺杂石墨烯薄膜层、NPB薄膜层及Al阴极电极层;/n所述的聚酯薄膜层、ITO薄膜阳极电极层构成衬底;/n所述的氮掺杂石墨烯(N-graphene)薄膜层厚度为10~40nm;/n所述的Al阴极电极层厚度为80~100nm。/n
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