[发明专利]压电复合薄膜及其制备方法在审
| 申请号： | 201911016607.8 | 申请日： | 2019-10-24 |
| 公开（公告）号： | CN110828653A | 公开（公告）日： | 2020-02-21 |
| 发明（设计）人： | 李真宇;胡文;张秀全;罗具廷 | 申请（专利权）人： | 济南晶正电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L41/08 | 分类号： | H01L41/08;H01L41/083;H01L41/22;H01L41/257 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人： | 刘灿强;尹淑梅 |
| 地址： | 250101 山东省济南市高新区港兴*** | 国省代码： | 山东;37 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 公开了一种压电复合薄膜及其制备方法，所述方法包括：准备预压电复合薄膜，预压电复合薄膜包括顺序堆叠的衬底、隔离层和压电晶体薄膜层；对压电晶体薄膜层执行离子注入工艺，其中，注入离子穿过压电晶体薄膜层并停留在隔离层中，以使压电晶体薄膜层的注入离子所穿过的区域的极化方向反转；以及在注入离子工艺之后对预压电复合薄膜执行退火工艺，以获得压电复合薄膜。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 复合 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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