[发明专利]一种在钢基体上制备碳化钨过渡层-硅掺杂金刚石复合涂层的方法

摘要

本发明公开了一种在钢基体上制备碳化钨过渡层‑硅掺杂金刚石复合涂层的方法。该方法针对低碳钢和低合金钢等为基体，首先，采用氟化钨和甲烷为前驱体，采用等离子体增强化学气相法沉积（PECVD）纳米碳化钨涂层，然后采用热丝化学气相沉积法在碳化钨涂层上沉积纳米晶硅掺杂金刚石涂层，形成双层过渡层，然后在硅掺杂金刚石涂层表面沉积本征微米或纳米金刚石涂层。该方法可以制备微米或纳米金刚石薄膜涂层，涂层厚度可在2‑30μm之间调节。与现有技术相比，该本方法解决了钢基体因热膨胀系数与金刚石相差过大导致的不能直接沉积CVD金刚石涂层的问题，使得钢基体可用来替代常规硬质合金用于沉积金刚石涂层，经济性能显著。

主权项

1.一种在钢基体上制备碳化钨过渡层-硅掺杂金刚石复合涂层的方法，其特征在于，包括如下操作步骤：/nS1.将基体（1）预处理后，采用等离子体增强化学气相沉积法沉积一层纳米晶碳化钨涂层（2）；/nS2.采用热丝化学气相沉积法，在所述纳米晶碳化钨涂层（2）表面沉积一层硅掺杂金刚石涂层（3）；/nS3.继续采用热丝化学气相沉积法在所述硅掺杂金刚石涂层（3）表面沉积一层本征金刚石涂层（4）；/n所述基体（1）为低碳钢或低合金钢中的任意一种。/n