[发明专利]一种微动台及具有该微动台的运动装置在审
| 申请号： | 201911018735.6 | 申请日： | 2019-10-24 |
| 公开（公告）号： | CN110587554A | 公开（公告）日： | 2019-12-20 |
| 发明（设计）人： | 吴火亮;孟辉;瞿晓晨;王越;黄传 | 申请（专利权）人： | 上海隐冠半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | B25H1/00 | 分类号： | B25H1/00;B25H1/14 |
| 代理公司： | 31342 上海上谷知识产权代理有限公司 | 代理人： | 蔡继清;陈婷婷 |
| 地址： | 200135 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种微动台及具有该微动台的运动装置。微动台包括托盘，其上表面设有让位槽，在转移托盘上物品时至少部分地容纳机械手；旋转台，其位于所述托盘下方，且上表面设有环形上部凹腔，下表面设有下部凹腔，其中上部凹腔与下部凹腔在垂直于旋转台的上表面的投影方向上的投影相互错开；旋转电机，容纳在环形上部凹腔内，并包括旋转电机动子和旋转电机定子，旋转电机定子相对于旋转台固定，旋转电机动子相对于托盘固定；垂直移动装置，位于下部凹腔内并构造成能够驱动旋转台垂直移动；浮动重力补偿装置，位于下部凹腔内并构造成能够对旋转台进行重力补偿。本发明实现了扁平化设计，提高了垂向运动的导向刚度和精度，且便于机械手操作。 | ||
| 搜索关键词： | 托盘 下部凹腔 旋转台 上部凹腔 上表面 微动台 旋转电机定子 旋转电机动子 投影 垂直移动装置 重力补偿装置 容纳 扁平化设计 机械手操作 机械手 垂向运动 驱动旋转 旋转电机 运动装置 重力补偿 让位槽 下表面 错开 浮动 垂直 | ||
【主权项】：
1.一种微动台，包括：/n托盘，所述托盘的上表面设有让位槽，所述让位槽在转移所述托盘上物品时至少部分地容纳机械手；/n旋转台，所述旋转台位于所述托盘下方，所述旋转台的上表面设有环形上部凹腔，所述旋转台的下表面设有下部凹腔，其中所述环形上部凹腔与所述下部凹腔在垂直于所述旋转台的上表面的投影方向上的投影相互错开；/n旋转电机，所述旋转电机容纳在所述环形上部凹腔内，所述旋转电机包括旋转电机动子和旋转电机定子，所述旋转电机定子相对于所述旋转台固定，所述旋转电机动子相对于所述托盘固定；/n垂直移动装置，所述垂直移动装置位于所述下部凹腔内并构造成能够驱动所述旋转台垂直移动；/n浮动重力补偿装置，所述浮动重力补偿装置位于所述下部凹腔内并构造成能够对所述旋转台进行重力补偿。/n
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