[发明专利]用于半导体器件的显影装置及显影方法在审
| 申请号： | 201911018875.3 | 申请日： | 2019-10-24 |
| 公开（公告）号： | CN111352314A | 公开（公告）日： | 2020-06-30 |
| 发明（设计）人： | 南兑澔;张成根 | 申请（专利权）人： | 夏泰鑫半导体（青岛）有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30;G03F7/40;H01L21/02;H01L21/67 |
| 代理公司： | 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司 44334 | 代理人： | 彭辉剑;龚慧惠 |
| 地址： | 266000 山东省青岛市黄岛区*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 一种用于半导体器件的显影装置，包括：显影腔室，用于容置待加工半导体器件；显影模块，用于朝向所述待加工半导体器件输送显影液；清洗模块，包括：第一驱动件；连接于所述第一驱动件的第一驱动臂；连接于所述第一驱动臂的清洗液喷嘴和气体喷嘴；所述清洗液喷嘴用于朝向所述待加工半导体器件输送清洗液，所述气体喷嘴用于朝向所述待加工半导体器件输送气体，所述第一驱动件用于驱动所述第一驱动臂移动，从而带动所述清洗液喷嘴和所述气体喷嘴自第一预设位置至第二预设位置移动，其中，定义所述待加工半导体器件的中心至边缘方向为预设方向，所述第一预设位置和所述第二预设位置沿所述预设方向设置。本发明还提供一种显影方法。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 半导体器件 显影 装置 方法 | ||
【主权项】：
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