[发明专利]一种柔性矢量流速传感器、传感器阵列及传感器制备方法有效
| 申请号： | 201911021092.0 | 申请日： | 2019-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN110672876B | 公开（公告）日： | 2021-03-02 |
| 发明（设计）人： | 蒋永刚;董子豪;张德远;沈大卫 | 申请（专利权）人： | 北京航空航天大学 |
| 主分类号： | G01P5/08 | 分类号： | G01P5/08 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 刘凤玲 |
| 地址： | 100191*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开一种柔性矢量流速传感器、传感器阵列及传感器制备方法。该柔性矢量流速传感器包括：柔性薄膜基底、压阻传感单元和信号引线；在柔性薄膜基底上设置有孔，在孔中由孔边缘向孔中心延伸出4个悬臂梁；任意相邻的两个悬臂梁相互垂直，任意间隔设置的两个悬臂梁共线；压阻传感单元的数量与悬臂梁的数量相同；每个压阻传感单元固定在对应的悬臂梁上且与柔性薄膜基底相接触；信号引线的数量是压阻传感单元的数量的2倍；每个信号引线均固定在柔性薄膜基底上；每个信号引线的一端均连接到对应的压阻传感单元，另一端延伸至柔性薄膜基底的边缘。本发明能够检测来流速度和方向并避免对流场产生干扰。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 柔性 矢量 流速 传感器 阵列 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种柔性矢量流速传感器，其特征在于，包括：柔性薄膜基底、压阻传感单元和信号引线；/n在所述柔性薄膜基底上设置有孔，在所述孔中由孔边缘向孔中心延伸出4个悬臂梁；任意相邻的两个所述悬臂梁相互垂直，任意间隔设置的两个所述悬臂梁共线；所述压阻传感单元的数量与所述悬臂梁的数量相同；每个所述压阻传感单元固定在对应的悬臂梁上且与所述柔性薄膜基底相接触；所述信号引线的数量是所述压阻传感单元的数量的2倍；每个所述信号引线均固定在所述柔性薄膜基底上；每个所述信号引线的一端均连接到对应的压阻传感单元，另一端延伸至所述柔性薄膜基底的边缘；/n所述柔性薄膜基底用于粘贴在待测物表面；所述悬臂梁用于在流场作用下产生振动；所述压阻传感单元用于将在所述悬臂梁的振动作用下产生的应力变化转换为电阻变化。/n
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