[发明专利]电子元器件芯片与薄液膜相变传热的集成装置及集成方法在审
申请号: | 201911021501.7 | 申请日: | 2019-10-25 |
公开(公告)号: | CN110854090A | 公开(公告)日: | 2020-02-28 |
发明(设计)人: | 陈林;李嘉华;吕延超;冼海珍;林俊;杨立军;杜小泽 | 申请(专利权)人: | 华北电力大学 |
主分类号: | H01L23/427 | 分类号: | H01L23/427 |
代理公司: | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246 | 代理人: | 张文宝 |
地址: | 102206 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开了属于散热技术领域的一种电子元器件芯片与薄液膜相变传热的集成装置及集成方法,所述电子元器件芯片与薄液膜相变传热的集成装置由四部分组成,包括真空负压罩、含电子元器件芯片的高效散热装置主体、液体工质腔及其连接管路部件组成;高效散热装置主体包含在真空负压罩中;并从上至下,真空抽气泵、真空负压罩、高效散热装置主体、给液泵、液体工质腔依次串联;在高效散热装置主体中,电子元器件芯片布置在相邻微通孔之间的封装层中;封装层、测温层依次固定在支持层上;电子元器件芯片的高热流密度使液体工质在封装层及电子元器件芯片上表面的超薄液膜产生相变换热,该相变换热即可满足整个电子元器件芯片的散热要求。 | ||
搜索关键词: | 电子元器件 芯片 薄液膜 相变 传热 集成 装置 方法 | ||
【主权项】:
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