[发明专利]光学元件、像差校正装置、光刻机系统和像差校正方法在审
| 申请号： | 201911021774.1 | 申请日： | 2019-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN110716302A | 公开（公告）日： | 2020-01-21 |
| 发明（设计）人： | 周娴;马星;张祥平;伍建华;晁阳 | 申请（专利权）人： | 德淮半导体有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/00 | 分类号： | G02B26/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 11038 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 杜文树 |
| 地址： | 223300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本公开涉及光学元件、像差校正装置、光刻机系统和像差校正方法。提供了一种光学元件，包括：透明的顶板；透明的底板；位于顶板与底板之间的多个隔间，其中，每个隔间彼此液体密封并由具有不同折射率的第一液体和第二液体充满，第一液体和第二液体之间相互分离并形成与顶板和底板近似平行的界面；和加热元件，用于对每个隔间中的第一液体和第二液体分别加热，其中，加热元件控制每个隔间中的第一液体和第二液体的温度，以利用第一液体和第二液体的受热膨胀来控制每个隔间中的界面的位置。 | ||
| 搜索关键词： | 隔间 底板 光学元件 透明的 加热元件控制 像差校正装置 加热元件 受热膨胀 像差校正 液体充满 液体密封 光刻机 折射率 加热 近似 平行 | ||
【主权项】：
1.一种光学元件，其特征在于，包括：/n透明的顶板；/n透明的底板；/n位于顶板与底板之间的多个隔间，其中，每个隔间彼此液体密封并由具有不同折射率的第一液体和第二液体充满，第一液体和第二液体之间相互分离并形成与顶板和底板近似平行的界面；和/n加热元件，用于对每个隔间中的第一液体和第二液体分别加热，/n其中，加热元件控制每个隔间中的第一液体和第二液体的温度，以利用第一液体和第二液体的受热膨胀来控制每个隔间中的界面的位置。/n
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