[发明专利]一种干涉式激光波长测量装置及其使用方法在审
申请号: | 201911023019.7 | 申请日: | 2019-10-25 |
公开(公告)号: | CN110579284A | 公开(公告)日: | 2019-12-17 |
发明(设计)人: | 潘俊涛;张巍巍;张鹏辉;肖岩 | 申请(专利权)人: | 北方民族大学 |
主分类号: | G01J9/02 | 分类号: | G01J9/02 |
代理公司: | 11590 北京市领专知识产权代理有限公司 | 代理人: | 张玲;王莹莹 |
地址: | 750021 宁夏回族*** | 国省代码: | 宁夏;64 |
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摘要: | 本发明涉及一种干涉式激光波长测量装置及其使用方法,包括:已知激光光学组件,用于发射已知激光束并实现干涉测量,得到参考的干涉数据;待测激光光学组件,用于对待测激光束实现干涉测量,并参照已知激光光学组件得到的干涉数据,计算得到待测激光束的波长;第一直角反射镜、与第一直角反射镜平行设置的第二直角反射镜,且第二直角反射镜的反射结构与第一直角反射镜的反射结构相对,所述已知激光光学组件发射的已知激光束和待测激光光学组件发射的待测激光束在第一直角反射镜和第二直角反射镜之间进行多次反射。只要利用一束已知波长的激光束,即可通过本装置得到任何待测激光束的波长,且本装置操作简便,计算得到的待测激光束波长精度也高。 | ||
搜索关键词: | 直角反射镜 激光束 激光光学组件 波长 反射结构 干涉测量 发射 激光波长测量装置 激光束波长 多次反射 平行设置 装置操作 干涉式 干涉 参考 | ||
【主权项】:
1.一种干涉式激光波长测量装置,其特征在于:包括:/n已知激光光学组件,用于发射已知激光束并实现干涉测量,得到参考的干涉数据;/n待测激光光学组件,用于对待测激光束实现干涉测量,并参照已知激光光学组件得到的干涉数据,计算得到待测激光束的波长;/n第一直角反射镜、与第一直角反射镜平行设置的第二直角反射镜,且第二直角反射镜的反射结构与第一直角反射镜的反射结构相对,所述已知激光光学组件发射的已知激光束和待测激光光学组件发射的待测激光束在第一直角反射镜和第二直角反射镜之间进行多次反射。/n
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