[发明专利]一种发光二极管中电子阻挡层的生长方法和发光二极管有效

专利信息
申请号: 201911023427.2 申请日: 2019-10-25
公开(公告)号: CN110739374B 公开(公告)日: 2021-01-26
发明(设计)人: 康建;焦建军;陈向东 申请(专利权)人: 圆融光电科技股份有限公司
主分类号: H01L33/06 分类号: H01L33/06;H01L33/14;H01L33/32;H01L33/00
代理公司: 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 代理人: 朱颖;刘芳
地址: 243000 安徽省马*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 发明提供一种发光二极管中电子阻挡层的生长方法和发光二极管,生长方法包括:1)在800‑930℃和200Torr下,向反应设备中通入氮气、氨气、三甲基铝、三甲基镓以及三甲基铟,在量子阱发光层上生长第一AlxInyGa1‑x‑yN层后,停止通入所述氮气、氨气、三甲基铝、三甲基镓以及三甲基铟;2)向反应设备中通入氢气,使第一AlxInyGa1‑x‑yN层转化为第一AlxGa1‑xN层;3)循环执行步骤1)‑步骤2)T次,得到电子阻挡层AlxGa1‑xN;其中,0<x<1,0<y<1,x>y。该方法有助于在对量子阱结构不产生消极影响的基础上生长高质量的电子阻挡层。
搜索关键词: 一种 发光二极管 电子 阻挡 生长 方法
【主权项】:
1.一种发光二极管的生长方法,其特征在于,包括:/n1)在800-930℃和200Torr下,向反应设备中通入氮气、氨气、三甲基铝、三甲基镓以及三甲基铟,在量子阱发光层上生长第一Al
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