[发明专利]一种发光二极管中电子阻挡层的生长方法和发光二极管有效
申请号: | 201911023427.2 | 申请日: | 2019-10-25 |
公开(公告)号: | CN110739374B | 公开(公告)日: | 2021-01-26 |
发明(设计)人: | 康建;焦建军;陈向东 | 申请(专利权)人: | 圆融光电科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L33/06 | 分类号: | H01L33/06;H01L33/14;H01L33/32;H01L33/00 |
代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人: | 朱颖;刘芳 |
地址: | 243000 安徽省马*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: |
本发明提供一种发光二极管中电子阻挡层的生长方法和发光二极管,生长方法包括:1)在800‑930℃和200Torr下,向反应设备中通入氮气、氨气、三甲基铝、三甲基镓以及三甲基铟,在量子阱发光层上生长第一Al |
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搜索关键词: | 一种 发光二极管 电子 阻挡 生长 方法 | ||
【主权项】:
1.一种发光二极管的生长方法,其特征在于,包括:/n1)在800-930℃和200Torr下,向反应设备中通入氮气、氨气、三甲基铝、三甲基镓以及三甲基铟,在量子阱发光层上生长第一Al
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