[发明专利]一种运用于集成电路的高纯氧化铜粉加工工艺在审
| 申请号： | 201911026376.9 | 申请日： | 2019-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN110980792A | 公开（公告）日： | 2020-04-10 |
| 发明（设计）人： | 徐一特 | 申请（专利权）人： | 韩亚半导体材料（贵溪）有限公司 |
| 主分类号： | C01G3/02 | 分类号： | C01G3/02 |
| 代理公司： | 温州名创知识产权代理有限公司 33258 | 代理人： | 程嘉炜 |
| 地址： | 335000 江西*** | 国省代码： | 江西;36 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明涉及一种运用于集成电路的高纯氧化铜粉加工工艺，通过碳化氨水、碳酸氢氨与铜料进行反应生成氨式碳酸铜料液，然后通过离心机分离出碱式碳酸铜与碳酸铵的固态混合物，通过蒸氨法固态混合物中的碳酸铵分解，从而得到高纯度碱式碳酸铜，碱式碳酸铜再通过煅烧得到高纯氧化铜粉，避免了重金属离子和氯离子的带入，能保证氧化铜产品纯度，同时通过蒸氨法将碳酸铵分离出氨气，将氨水、氨气和水蒸气均回收再用于制作碳酸氢铵或碳化氨水，实现循环利用，提高经济效益。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 运用于 集成电路 高纯 氧化铜 加工 工艺 | ||
【主权项】：
暂无信息
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