[发明专利]一种自动对位曝光设备及方法在审
| 申请号： | 201911026873.9 | 申请日： | 2019-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN110647017A | 公开（公告）日： | 2020-01-03 |
| 发明（设计）人： | 陈志特;王华;何增灿;黄海浩 | 申请（专利权）人： | 东莞科视自动化科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00 |
| 代理公司： | 44231 东莞市中正知识产权事务所(普通合伙) | 代理人： | 成伟 |
| 地址： | 523000 广东省东莞*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种自动对位曝光设备及方法，其中一种自动对位曝光设备包括光源模组和对位模组，还包括第一曝光工位、第二曝光工位和进出料工位，所述第一曝光工位和第二曝光工位分别设置在所述进出料工位的两侧；所述第一曝光工位、第二曝光工位和进出料工位上均设有一工作框模组，三个所述工作框模组分别与一导向模组连接，以实现三个所述工作框模组在所述第一曝光工位、第二曝光工位和进出料工位之间的相互切换；所述光源模组位于所述第一曝光工位或所述第二曝光工位上；所述对位模组位于所述第一曝光工位上或所述第二曝光工位上。本发明可同时进行对位曝光和进/出料，或同时进行对位、曝光以及进/出料，大大提高了该自动对位曝光设备的产能。 | ||
| 搜索关键词： | 曝光工位 模组 进出料 对位 工位 曝光设备 自动对位 工作框 光源模组 出料 导向模组 曝光 产能 | ||
【主权项】：
1.一种自动对位曝光设备，包括光源模组和对位模组，其特征在于，还包括第一曝光工位、第二曝光工位和进出料工位，所述第一曝光工位和第二曝光工位分别设置在所述进出料工位的两侧；所述第一曝光工位、第二曝光工位和进出料工位上均设有一工作框模组，三个所述工作框模组分别与一导向模组连接，以实现三个所述工作框模组在所述第一曝光工位、第二曝光工位和进出料工位之间的相互切换；/n所述光源模组位于所述第一曝光工位或所述第二曝光工位上；/n所述对位模组位于所述第一曝光工位上或所述第二曝光工位上。/n
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