[发明专利]用于硅片的毛刷辊双面清洗装置

摘要

本申请公开了一种用于硅片的毛刷辊双面清洗装置，包括机架以及水平设置在机架内的第一皮带和第二皮带，所述第一皮带的尾部与第二皮带的头部上下交错衔接，所述第二皮带设置在第一皮带上方，所述第一皮带的正上方以及第二皮带的正下方还设有毛刷辊组件，每个所述毛刷辊组件包括一对侧板、毛刷辊和一对从动辊。该清洗装置通过在毛刷辊两端设置一对可调高度的从动辊对正在受毛刷辊毛刷的硅片进行压紧限位，避免硅片因毛刷辊的力而移位，确保硅片经毛刷辊毛刷干净，从而提高清洗效率，且两个皮带首尾衔接并配以可调节的压辊组件，保证硅片的流畅性，且适合不同规格的硅片，适用性更广。

主权项

1.一种用于硅片的毛刷辊双面清洗装置，其特征在于：包括机架以及水平设置在机架内的第一输送皮带和第二输送皮带，所述第一输送皮带的尾部与第二输送皮带的头部上下交错衔接，所述第二输送皮带设置在第一输送皮带上方，所述第一输送皮带的正上方以及第二输送皮带的正下方还设有毛刷辊组件，每个所述毛刷辊组件包括一对侧板、毛刷辊和一对从动辊，一对所述侧板对称设置在机架的前后内壁上，所述侧板顶部凹设有第一滑槽、第二滑槽和第三滑槽，一对所述从动辊通过其两端设置的第一轴承座分别与第一滑槽、第三滑槽上下滑动连接，所述毛刷辊通过其两端设置的第二轴承座与第二滑槽上下滑动连接，所述第一轴承座和第二轴承座的顶部均凹设有螺纹孔，所述侧板顶部设有盖板，所述盖板上分别设有延伸至第一滑槽、第二滑槽、第三滑槽内的三个螺栓，三个所述螺栓分别与第一滑槽内第一轴承座上的螺纹孔、第二滑槽内第二轴承座上的螺纹孔以及第三滑槽内第一轴承座上的螺纹孔配合螺纹连接，所述第一输送皮带和第二输送皮带均内设有朝向毛刷辊设置的负压吸片装置。/n