[发明专利]体声波谐振器及其频率调整方法、滤波器、电子设备有效
| 申请号： | 201911027012.2 | 申请日： | 2019-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN111010134B | 公开（公告）日： | 2021-06-01 |
| 发明（设计）人： | 庞慰;徐洋;郝龙;杨清瑞;张孟伦 | 申请（专利权）人： | 诺思（天津）微系统有限责任公司 |
| 主分类号： | H03H9/17 | 分类号： | H03H9/17 |
| 代理公司： | 北京金诚同达律师事务所 11651 | 代理人： | 汤雄军 |
| 地址： | 300462 天津市*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种体声波谐振器，包括具有间隙层的顶电极，所述顶电极包括第一顶电极和第二顶电极，所述第一顶电极贴附于所述压电层，在谐振器的厚度方向上所述间隙层形成在第一顶电极与第二顶电极之间，其中：所述第二顶电极在谐振器的有效区域内设置有多个频率修整通道，所述频率修整通道贯穿所述第二顶电极而与间隙层相通。本发明还公开了一种上述体声波谐振器的频率修整方法，所述方法包括：利用离子束通过所述频率调整通道轰击所述第一顶电极的上表面以在其上形成凹坑；或者利用离子束通过所述频率调整通道轰击所述第一钝化层以在其上形成凹坑。本发明还公开了一种滤波器和电子设备。 | ||
| 搜索关键词： | 声波 谐振器 及其 频率 调整 方法 滤波器 电子设备 | ||
【主权项】：
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