[发明专利]电极具有空隙层和凸起结构的体声波谐振器、滤波器及电子设备有效
| 申请号： | 201911027015.6 | 申请日： | 2019-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN111010123B | 公开（公告）日： | 2021-06-01 |
| 发明（设计）人： | 庞慰;徐洋;郝龙;杨清瑞;张孟伦 | 申请（专利权）人： | 诺思（天津）微系统有限责任公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/15;H03H9/17;H03H9/13 |
| 代理公司： | 北京金诚同达律师事务所 11651 | 代理人： | 汤雄军 |
| 地址： | 300462 天津市*** | 国省代码： | 天津;12 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种体声波谐振器，包括：基底；声学镜；底电极；顶电极；和压电层，设置在底电极与顶电极之间，其中：顶电极、底电极、声学镜和压电层在所述谐振器的厚度方向上的重叠区域限定所述谐振器的有效区域；所述顶电极包括空隙层、第一顶电极和第二顶电极，在谐振器的厚度方向上所述空隙层形成在第一顶电极与第二顶电极之间，第一顶电极与压电层形成面接触；且所述第一顶电极在有效区域内在有效区域的边缘设置有凸起结构，所述凸起结构的顶面高出有效区域中第一顶电极的上表面。本发明还涉及一种具有上述谐振器的滤波器以及具有该滤波器或谐振器的电子设备。 | ||
| 搜索关键词： | 电极 具有 空隙 凸起 结构 声波 谐振器 滤波器 电子设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于诺思（天津）微系统有限责任公司，未经诺思（天津）微系统有限责任公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201911027015.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
