[发明专利]使用面镜及/或棱镜的激光重复率倍增器及平顶射束轮廓产生器有效

专利信息
申请号: 201911029361.8 申请日: 2015-06-18
公开(公告)号: CN110797743B 公开(公告)日: 2021-07-06
发明(设计)人: 勇-霍·亚历克斯·庄;贾斯汀·典桓·刘;陆晓旭;J·约瑟夫·阿姆斯特朗;邓宇俊;约翰·费尔登 申请(专利权)人: 科磊股份有限公司
主分类号: H01S3/139 分类号: H01S3/139;H01S3/125;H01S3/105
代理公司: 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 代理人: 刘丽楠
地址: 美国加利*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 本申请涉及一种使用面镜及/或棱镜的激光重复率倍增器及平顶射束轮廓产生器。一种重复率(脉冲)倍增器包含一或多个射束分裂器及棱镜,从而形成具有延迟每一脉冲的能量的部分的不同光学路径长度的一或多个环形腔。一系列输入激光脉冲在所述环形腔中循环且每一脉冲的所述能量的部分在横穿较短腔路径之后离开系统,而所述能量的另一部分在横穿较长腔路径及/或两个腔路径的组合之后离开所述系统。通过所述环形腔光学路径长度的适当选择,输出系列的激光脉冲的所述重复率可变为输入重复率的倍数。可通过选择所述射束分裂器的透射及反射系数来控制所述输出脉冲的相对能量。一些实施例产生基本上在一个维度上平坦的时间平均输出射束轮廓。
搜索关键词: 使用 棱镜 激光 重复 倍增器 平顶 轮廓 产生器
【主权项】:
1.一种激光脉冲重复率倍增器,其用于接收输入激光脉冲且用于产生输出脉冲,所述输出脉冲具有多于两倍的所述输入激光脉冲的重复率的输出脉冲重复率,所述激光脉冲重复率倍增器包括:/n赫里奥特池,其包含形成光学腔的第一曲面镜和第二曲面镜、第一射束分裂器和第二射束分裂器及至少两个折叠面镜,以及定位在所述光学腔外部的直角棱镜,所述赫里奥特池经配置以使得每一所述输入脉冲的部分沿所述光学腔内部的主腔回路传输,随后传递到所述直角棱镜,随后在作为所产生的所述输出脉冲中的一者离开所述光学腔之前沿所述光学腔内部的次腔回路传输,/n其中所述两个曲面镜具有约等于所述输入激光脉冲之间的空间分离的四分之一的奇整数倍的曲率半径,且/n其中所述两个曲面镜具有共同曲率半径,且分开实质上等于所述曲率半径的距离。/n
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