[发明专利]低技术节点铜布线用铜膜碱性抛光液在审
| 申请号： | 201911030140.2 | 申请日： | 2019-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN110983340A | 公开（公告）日： | 2020-04-10 |
| 发明（设计）人： | 牛新环;周佳凯;杨程辉;王如;李云飞;崔雅琪;王治 | 申请（专利权）人： | 河北工业大学 |
| 主分类号： | C23F3/04 | 分类号： | C23F3/04 |
| 代理公司： | 天津市三利专利商标代理有限公司 12107 | 代理人： | 苏宇欢 |
| 地址： | 300000 *** | 国省代码： | 天津;12 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： |
本发明公开了一种低技术节点铜布线用铜膜碱性抛光液，由下述组分，按重量百分比计，SiO |
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| 搜索关键词： | 技术 节点 布线 用铜膜 碱性 抛光 | ||
【主权项】：
暂无信息
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