[发明专利]飞秒激光脉冲前沿及波前畸变的补偿装置方法有效
申请号: | 201911031294.3 | 申请日: | 2019-10-28 |
公开(公告)号: | CN110718846B | 公开(公告)日: | 2021-01-01 |
发明(设计)人: | 吴分翔;许毅;杨晓骏;冷雨欣 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
主分类号: | H01S3/13 | 分类号: | H01S3/13 |
代理公司: | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人: | 张宁展 |
地址: | 201800 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明公开了一种飞秒激光脉冲前沿及波前畸变的补偿装置和方法,装置包括:薄膜偏振片、1/4波片、第一负透镜、第二负透镜、离轴抛面镜、可变形镜。激光脉冲经薄膜偏振片反射后沿轴方向依次经过1/4波片、第一负透镜、第二负透镜,再经离轴抛面镜反射后准直输出,输出脉冲经可变形镜零度反射后按原路返回,最后经薄膜偏振片透射输出。本发明不仅可以实现脉冲波前畸变的补偿,还能同时实现脉冲前沿畸变的动态补偿,在时域和空域上提高脉冲质量,使激光聚焦强度大大增强。具有调节方便、简单高效,实用性强的特点。 | ||
搜索关键词: | 激光 脉冲 前沿 畸变 补偿 装置 方法 | ||
【主权项】:
1.一种飞秒激光脉冲前沿及波前畸变的补偿装置,包括:薄膜偏振片(1)、1/4波片(2)、第一负透镜(3)、第二负透镜(4)、离轴抛面镜(5)和可变形镜(6);所述的第一负透镜(3)和第二负透镜(4)分别放置在高精度平移台上;激光脉冲经薄膜偏振片(1)反射后沿光轴方向依次经过1/4波片(2)、第一负透镜(3)和第二负透镜(4)入射到离轴抛面镜(5),经该离轴抛面镜(5)反射后准直输出,输出脉冲经可变形镜(6)零度反射后按原路返回,经离轴抛面镜(5)反射后,依次经第二负透镜(4)、第一负透镜(3)和1/4波片(2)透射,最后入射到薄膜偏振片(1),并经该薄膜偏振片(1)透射输出。/n
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