[发明专利]一种自动转换机台在审
| 申请号： | 201911031480.7 | 申请日： | 2019-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN110828363A | 公开（公告）日： | 2020-02-21 |
| 发明（设计）人： | 赵玉会;翁佩雪;吴恋伟;邓丹丹;林锦伟;林伟铭 | 申请（专利权）人： | 福建省福联集成电路有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/683 | 分类号： | H01L21/683;H01L21/67 |
| 代理公司： | 福州市景弘专利代理事务所(普通合伙) 35219 | 代理人： | 徐剑兵;张忠波 |
| 地址： | 351117 福建省莆*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明公布了一种自动转换台，所述自动转换台包括：工作平台、真空吸盘、真空装置、真空吸盘伸缩机构和抓取装置，所述工作平台的表面设置有真空口，所述真空口贯穿所述工作平台，所述真空口通过管道连接所述真空装置，所述工作平台的正上方设置有所述真空吸盘，所述真空吸盘通过管道与所述真空装置连接，所述真空吸盘上设置有吸嘴，所述真空吸盘伸缩机构的伸缩端与所述真空吸盘固定连接，所述抓取装置设置在所述工作平台的一侧。使用真空装置及真空吸盘分离PCB板和晶圆，真空吸盘上具有吸嘴能够吸附晶圆，使分离过程中的晶圆的受力均匀，不会损减薄后的晶圆；其次机械作业使整个碳化硅板和印刷电路板的转换效率更高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 自动 转换 机台 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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