[发明专利]碳化硅单晶的制备装置及其应用有效
| 申请号： | 201911032080.8 | 申请日： | 2019-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN110904508B | 公开（公告）日： | 2021-01-12 |
| 发明（设计）人： | 方帅;高超;高宇晗;王路平;王宗玉;张九阳;潘亚妮;宁秀秀;李霞;舒天宇;许晓林;薛传艺 | 申请（专利权）人： | 山东天岳先进科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/36 | 分类号： | C30B29/36;C30B23/00 |
| 代理公司： | 北京君慧知识产权代理事务所(普通合伙) 11716 | 代理人： | 王宽 |
| 地址： | 250118 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种碳化硅单晶的制备装置及其应用，属于单晶的制备领域。该碳化硅单晶的制备装置，其包括坩埚、装料桶和旋转升降单元；坩埚包括上部坩埚和下部坩埚；装料桶包括桶身和开口部，桶身设置在下部坩埚内，开口部与上部坩埚转动连接，装料桶和上部坩埚形成物理气相传输法制备碳化硅单晶的生长腔；装料桶与下部坩埚之间形成隔离空腔；旋转升降单元驱动装料桶相对于籽晶旋转升降。该制备装置其装料桶在旋转升降的过程中精确、稳定的处于作为发热体的坩埚的中心位置，装料桶截面的各个方向的温度一致使其内部受热均匀，进而避免了制得的碳化硅单晶内产生碳包裹体等缺陷，提高了制得的碳化硅单晶的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 碳化硅 制备 装置 及其 应用 | ||
【主权项】：
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