[发明专利]一种超高精度平面气浮工件台

摘要

本发明公开了一种超高精度平面气浮工件台，包括平台，所述平台上侧面设置两个导轨，每一个所述导轨的外侧均固定有竖向电机，每一个所述导轨上均滑动设置有竖向气浮滑块，所述竖向气浮滑块与所述竖向电机连接；两个所述竖向气浮滑块之间固定设置有横梁，所述横梁呈正放的U型结构，所述横梁的U型槽内设置有所述横向电机，所述横梁上还滑动设置有工件台组件。本发明通过将两个竖向导轨与竖向气浮滑块之间设置成大小不一的间隙，避免卡死现象，通过磁条和钢铁条实现磁预载，与竖向气浮滑块处的气浮力相应，保持气浮滑块的稳定性，无摩擦、并且采用双轴驱动，提高工作准确率和效率。

主权项

1.一种超高精度平面气浮工件台，包括平台(1)，其特征在于：所述平台(1)上侧面设置两个导轨(2)，每一个所述导轨(2)的外侧均固定有竖向电机(3)，每一个所述导轨(2)上均滑动设置有竖向气浮滑块(5)，所述竖向气浮滑块(5)与所述竖向电机(3)连接；/n所述竖向气浮滑块(5)呈倒置的U型，所述导轨(2)置于所述竖向气浮滑块(5)的U型槽内且与所述竖向气浮滑块(5)之间设置有间隙，所述竖向气浮滑块(5)的U型槽内侧面开有若干个气孔，所述气孔连接有气源；其中一个所述竖向气浮滑块(5)与对应所述导轨(2)之间的第二间隙(11)大于另一个所述竖向气浮滑块(5)与对应所述导轨(2)之间的第一间隙(10)；所述导轨(2)的外侧面底部固定有钢铁条(13)，所述竖向气浮滑块(5)的底部安装有磁条(12)，所述磁条(12)与所述钢铁条(13)之间留有间隙；所述竖向气浮滑块(5)上固定安装有光栅尺读数头(15)，所述竖向电机(3)上固定安装有光栅尺(14)，所述光栅尺读数头(15)读取所述光栅尺(14)的数据；/n两个所述竖向气浮滑块(5)之间固定设置有横梁(9)，所述横梁(9)呈正放的U型结构，所述横梁(9)的U型槽内设置有所述横向电机(6)，所述横梁(9)上还滑动设置有工件台组件(7)；/n所述工件台组件(7)包括横向气浮滑块(701)，所述横向气浮滑块(701)套设在所述横梁(9)上且与所述横梁(9)之间设置有间隙；所述横向气浮滑块(701)与所述横梁(9)外壁相接触的内侧面开有若干个气孔，所述气孔连接有气源；所述横向气浮滑块(701)与所述横向电机(6)连接；所述横向气浮滑块(701)的上侧面固定有工件台(704)。/n