[发明专利]一种介质光栅窄带滤波器及其制作方法有效
| 申请号： | 201911032529.0 | 申请日： | 2019-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN110764174B | 公开（公告）日： | 2022-05-03 |
| 发明（设计）人： | 董建文;刘伟男;江绍基 | 申请（专利权）人： | 中山大学 |
| 主分类号： | G02B5/20 | 分类号： | G02B5/20;G02B5/28;G02B27/00 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 林丽明 |
| 地址： | 510275 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供的一种介质光栅窄带滤波器，由具有特殊尺寸的光栅沿垂直于光栅平面方向间隔特定距离进行排列而成，由光栅组成的多个反射腔进行窄带滤波；所述窄带滤波器使用时，光由滤波器上方以一定角度射入，经多层光栅滤过后从底部射出，从而实现滤波操作。本发明还包括窄带滤波器的制作方法，在工作波段内实现透射中心波长、中心角度可调节，所设计的器件厚度为亚波长量级，克服了已有窄带滤波器体积质量大、制备难度高的缺点。同时，该滤波器具有极高的反射率，大大降低了噪声信号的干扰；通过调节光栅间沿周期方向的位错，使得透射峰呈现出不同的对称性，沿不同方向获得不同的灵敏度；并且通过级联的方法可以获得多通道输出和平顶带响应等特性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 介质 光栅 窄带滤波器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
1.一种介质光栅窄带滤波器，其特征在于：由具有特殊尺寸的光栅沿垂直于光栅平面方向间隔特定距离进行排列而成，由光栅组成的多个反射腔进行窄带滤波；所述的特殊尺寸指光栅高度和周期小于滤波器的工作波长；所述的特定距离指光栅之间能发生法布里珀罗干涉且忽略近场耦合作用的间隔距离；所述窄带滤波器使用时，光由滤波器上方以一定角度射入，经多层光栅滤过后从底部射出，从而实现滤波操作。/n
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