[发明专利]一种硬脆材料复杂构件飞秒激光精密成型加工系统

摘要

一种硬脆材料复杂构件飞秒激光精密成型加工系统，包括飞秒激光器、激光调谐模块、机械光闸、激光偏振模块、可变倍扩束器、平面反射镜、光学衍射元件、成丝改质模块、成丝辅助件、装夹专用工装、多轴联动电控位移台、工控机、机械臂、化学腐蚀池和碱性中和池。通过可变倍扩束器、光学衍射元件和成丝改质模块调控飞秒激光成丝长度与直径，实现硬脆材料大深径比加工；通过成丝辅助件避免成丝前端加工一致性差的不良影响；通过机械光闸、多轴联动电控位移台和工控机等光机电协同控制，完成复杂构件激光改质功能；本发明具有加工深径比大、加工品质优良、可成型复杂构件、操作全自动化等优点，在航空航天、半导体、电子工业等领域具有广泛的应用前景。