[发明专利]电子束团储存环以及具有该电子束团储存环的极紫外光源有效
| 申请号： | 201911034817.X | 申请日： | 2019-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN110944446B | 公开（公告）日： | 2020-09-25 |
| 发明（设计）人： | 唐传祥;潘志龙;赵午;万唯实;黄文会 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | H05H7/06 | 分类号： | H05H7/06;H05H13/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京卓孚律师事务所 11821 | 代理人： | 任宇 |
| 地址： | 100084*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种电子束团储存环，该电子束团储存环包括若干偏转结构以及连接所述偏转结构的若干直线节，所述偏转结构和所述直线节共同形成适于电子束团持续环绕运行的环形结构，在电子束的运行方向上，每个偏转结构依次布置有前端匹配节、前端匹配单元、彼此连续布置的若干主单元、后端匹配单元以及后端匹配节。适当地布置该电子束团储存环中的各磁铁，使得匹配单元之外的所有二极铁内的色散函数积分值为零，并且，前端匹配单元的入口处以及后端匹配单元的出口处的色散函数及其导数值为零，并且，相邻的主单元的二极铁的交界处的色散函数的导数值为零。 | ||
| 搜索关键词： | 电子束 储存 以及 具有 紫外 光源 | ||
【主权项】：
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