[发明专利]基于注意力机制强化学习的半导体晶片测试路径规划方法有效
| 申请号： | 201911036531.5 | 申请日： | 2019-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN110824917B | 公开（公告）日： | 2022-05-13 |
| 发明（设计）人： | 史豪斌;吴海波;高彪;朱金辉 | 申请（专利权）人： | 西北工业大学 |
| 主分类号： | G05B13/04 | 分类号： | G05B13/04;G05B13/02;G01R31/26;H01L21/66 |
| 代理公司： | 西北工业大学专利中心 61204 | 代理人： | 王鲜凯 |
| 地址： | 710072 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于注意力机制强化学习的半导体晶片测试路径规划方法，用于解决现有半导体晶片测试路径规划方法通用性差的技术问题。技术方案是采用软性注意力机制(Soft Attention Mechanism)的深度强化学习模型架构来训练代理人。特别采用长短期记忆架构，使状态具有记忆能力，并运用课程学习方式逐步扩大晶圆尺寸，利用迁移学习训练不同探针卡样式。本发明有效地克服了晶片扩大时模型难以训练的问题，适用于多种晶片尺寸下的应用。通过训练代理人的方式，代理人能以最少移动步数将晶片上所有晶粒测试完毕，有效减少了探针移动次数与移动距离，通用性好。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 注意力 机制 强化 学习 半导体 晶片 测试 路径 规划 方法 | ||
【主权项】：
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