[发明专利]电源供应装置、半导体工艺系统与电源管理方法在审
| 申请号： | 201911037896.X | 申请日： | 2019-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN112751406A | 公开（公告）日： | 2021-05-04 |
| 发明（设计）人： | 江政鸿;刘志庆;林威庭;张耀明 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | H02J9/06 | 分类号： | H02J9/06 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 宋洋;黄艳 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 提供一种电源供应装置，包括电源单元、电源感测器以及控制单元。电源单元包括并联配置的第一电源供应器以及第二电源供应器，两者分别提供第一输出电源以及第二输出电源至半导体工艺设备。电源感测器感测第一输出电源以及第二输出电源的一输出参数是否小于预设值。当第一输出电源及第二输出电源的该输出参数中的一者小于预设值时，电源供应装置进入一紧急备援模式。控制单元使得第一电源供应器及第二电源供应器的另外一者提供一备用电源至半导体工艺设备。备用电源的该输出参数大于第一输出电源以及第二输出电源的该输出参数。 | ||
| 搜索关键词： | 电源 供应 装置 半导体 工艺 系统 管理 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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