[发明专利]一种耐高温耐腐蚀反应烧结碳化硅膜支撑体及其制备方法在审
申请号: | 201911039324.5 | 申请日: | 2019-10-29 |
公开(公告)号: | CN110698215A | 公开(公告)日: | 2020-01-17 |
发明(设计)人: | 黄政仁;吴海波;刘学建;陈忠明;姚秀敏 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海硅酸盐研究所苏州研究院;中国科学院上海硅酸盐研究所 |
主分类号: | C04B38/00 | 分类号: | C04B38/00;C04B35/565;C04B35/64;C04B35/622;B01D69/10;B01D46/54 |
代理公司: | 31261 上海瀚桥专利代理事务所(普通合伙) | 代理人: | 曹芳玲;郑优丽 |
地址: | 215400 *** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开一种耐高温耐腐蚀反应烧结碳化硅膜支撑体及其制备方法。所述耐高温耐腐蚀反应烧结碳化硅膜支撑体的制备方法,包括以下步骤:(1)将亚微米级或微米级碳化硅粉、亚微米级或微米级氮化硅粉、碳前驱体充分混合,得到混合粉体;(2)将步骤(1)中的混合粉体进行成型,得到生坯;(3)将步骤(2)中的生坯烧结得到耐高温耐腐蚀反应烧结碳化硅膜支撑体。上述耐高温耐腐蚀反应烧结碳化硅膜支撑体的一个特征在于其具有优异的高温强度与化学稳定性,显著优于氧化物结合碳化硅膜支撑体;另一个特征在于其烧结过程中无尺寸变化,可大幅度提升产品的成品率。 | ||
搜索关键词: | 反应烧结碳化硅 膜支撑体 耐腐蚀 耐高温 混合粉体 亚微米级 微米级 生坯 制备 化学稳定性 尺寸变化 充分混合 氮化硅粉 烧结过程 碳化硅粉 碳化硅膜 碳前驱体 烧结 成品率 支撑体 氧化物 成型 | ||
【主权项】:
1.耐高温耐腐蚀反应烧结碳化硅膜支撑体的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:/n(1)将亚微米级或微米级碳化硅粉、亚微米级或微米级氮化硅粉、碳前驱体充分混合,得到混合粉体;/n(2)将步骤(1)中的混合粉体进行成型,得到生坯;/n(3)将步骤(2)中的生坯烧结得到耐高温耐腐蚀反应烧结碳化硅膜支撑体。/n
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