[发明专利]脊型量子阱/量子点有源区的激光器结构及其制备方法在审
申请号: | 201911039680.7 | 申请日: | 2019-10-29 |
公开(公告)号: | CN110829169A | 公开(公告)日: | 2020-02-21 |
发明(设计)人: | 董海亮;许并社;贾志刚;贾伟;张爱琴;梁建 | 申请(专利权)人: | 太原理工大学 |
主分类号: | H01S5/02 | 分类号: | H01S5/02;H01S5/22;H01S5/34;H01S5/343 |
代理公司: | 太原晋科知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 14110 | 代理人: | 任林芳 |
地址: | 030024 *** | 国省代码: | 山西;14 |
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摘要: | 本发明脊型量子阱/量子点有源区的激光器结构及其制备方法,属于半导体材料技术领域;提供了一种光谱发散角小、电光转换效率效率高的脊型量子阱/量子点有源区的激光器结构及其制备方法;该结构包括偏角衬底以及在偏角衬底上依次设置的缓冲层、N型掺杂的限制层,N型掺杂的波导层,脊型波导层、有源层、P型掺杂的波导层、P型掺杂的限制层、顶层和电极接触层,有源层包括从下到上依次设置的脊型下垒层、量子阱层、量子点盖层和脊型上垒层,在量子阱层的表面上设置有多个量子点;本发明可广泛应用于激光器领域。 | ||
搜索关键词: | 量子 有源 激光器 结构 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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