[发明专利]脊型量子阱/量子点有源区的激光器结构及其制备方法在审

专利信息
申请号: 201911039680.7 申请日: 2019-10-29
公开(公告)号: CN110829169A 公开(公告)日: 2020-02-21
发明(设计)人: 董海亮;许并社;贾志刚;贾伟;张爱琴;梁建 申请(专利权)人: 太原理工大学
主分类号: H01S5/02 分类号: H01S5/02;H01S5/22;H01S5/34;H01S5/343
代理公司: 太原晋科知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 14110 代理人: 任林芳
地址: 030024 *** 国省代码: 山西;14
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摘要: 发明脊型量子阱/量子点有源区的激光器结构及其制备方法,属于半导体材料技术领域;提供了一种光谱发散角小、电光转换效率效率高的脊型量子阱/量子点有源区的激光器结构及其制备方法;该结构包括偏角衬底以及在偏角衬底上依次设置的缓冲层、N型掺杂的限制层,N型掺杂的波导层,脊型波导层、有源层、P型掺杂的波导层、P型掺杂的限制层、顶层和电极接触层,有源层包括从下到上依次设置的脊型下垒层、量子阱层、量子点盖层和脊型上垒层,在量子阱层的表面上设置有多个量子点;本发明可广泛应用于激光器领域。
搜索关键词: 量子 有源 激光器 结构 及其 制备 方法
【主权项】:
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