[发明专利]一种用于反应气氛切换的自动控制气路系统及其应用在审
| 申请号： | 201911039989.6 | 申请日： | 2019-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN110645478A | 公开（公告）日： | 2020-01-03 |
| 发明（设计）人： | 赵海波;田鑫 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学 |
| 主分类号： | F17D1/02 | 分类号： | F17D1/02;F17D3/01;F17D3/03;F17D3/18 |
| 代理公司： | 42201 华中科技大学专利中心 | 代理人： | 李智 |
| 地址： | 430074 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明属于气体控制技术领域，并具体公开了一种用于反应气氛切换的自动控制气路系统及其应用。该自动控制气路系统包括气路连接装置、流量控制装置和自动控制装置，其中：气路连接装置包括预设数量的气路管线和电磁阀，气路管线用于为气体输送提供通道，电磁阀用于控制各个气路管线的开闭，从而实现反应气氛的切换；流量控制装置包括预设数量的质量流量计，分别用于控制各个气路管线中的气体流量，进而控制气体的浓度；自动控制装置用于控制电磁阀的开闭，从而实现反应气氛切换的自动控制。本发明能够对各个气路管线的开闭进行自动控制，阀门开闭的时间精确可调，并且具有可靠性高、操作简单的优势，能够最大程度减少人为因素对实验过程的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 气路管线 反应气氛 开闭 流量控制装置 气路连接装置 自动控制气路 自动控制装置 电磁阀 预设 控制电磁阀 质量流量计 阀门开闭 气体控制 气体流量 气体输送 人为因素 实验过程 可调 应用 | ||
【主权项】：
1.一种用于反应气氛切换的自动控制气路系统，其特征在于，该自动控制气路系统包括气路连接装置、流量控制装置和自动控制装置，其中：所述气路连接装置包括预设数量的气路管线和电磁阀，所述气路管线用于为气体输送提供通道，所述电磁阀用于控制各个气路管线的开闭，从而实现反应气氛的切换；所述流量控制装置包括预设数量的质量流量计，分别用于控制各个气路管线中的气体流量，进而控制气体浓度；所述自动控制装置用于控制所述电磁阀的开闭，从而实现反应气氛切换的自动控制。/n
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