[发明专利]一种利用等厚干涉原理检测显示屏中缺陷的方法有效

专利信息
申请号: 201911041444.9 申请日: 2019-10-30
公开(公告)号: CN110618138B 公开(公告)日: 2022-06-07
发明(设计)人: 贾虎;刘义;莫绪涛;张涛;丁成祥;杨辉 申请(专利权)人: 安徽工业大学
主分类号: G01N21/95 分类号: G01N21/95;G01N21/45;G01N21/01
代理公司: 安徽知问律师事务所 34134 代理人: 于婉萍;平静
地址: 243002 *** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 发明公开了一种利用等厚干涉原理检测显示屏中缺陷的系统及方法,属于光干涉检测技术领域。本发明中待测玻片与平整玻片之间形成空气劈尖,平行光透过空气劈尖产生干涉条纹,当待测玻片中有缺陷或杂质时,干涉条纹发生畸变,在x与y方向分别计算条纹级数及条纹宽度得到缺陷的具体位置坐标,再对其进行后续加工剪裁,可以实现较高的检测精度,操作简单方便,有效防止缺陷或杂质的漏检,得到完整无缺陷的玻璃显示屏。
搜索关键词: 一种 利用 干涉 原理 检测 显示屏 缺陷 方法
【主权项】:
1.一种利用等厚干涉原理检测显示屏中缺陷的方法,其特征在于:包括以下步骤:/n步骤一:将平整玻片(4-2)放置于测量平台上,平整玻片(4-2)与待测玻片(4-1)之间设置一定厚度的夹块(4-5)形成空气劈尖,所述平整玻片(4-2)、待测玻片(4-1)与夹块(4-5)之间组成干涉系统,所述干涉系统上设有扫描系统;/n步骤二:通过调节扫描系统中的扫描支架调节光源部分和摄像部分的位置,使光源部分的出射光沿空气劈尖厚度增大的方向扫描待测玻片(4-1)并产生干涉条纹;/n步骤三:扫描过程中待测玻片(4-1)的缺陷处干涉条纹异常,通过光学显微模块计算异常条纹对应缺陷处至待测玻片(4-1)边缘的横向距离x,所述光学显微模块与扫描系统中的摄像部分连接;/n步骤四:将夹块(4-5)取出并放置于待测玻片(4-1)相邻侧边形成另一个空气劈尖,重复步骤二与步骤三,得到异常条纹对应缺陷处至待测玻片(4-1)边缘的纵向距离y。/n
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