[发明专利]一种利用等厚干涉原理检测显示屏中缺陷的方法有效
申请号: | 201911041444.9 | 申请日: | 2019-10-30 |
公开(公告)号: | CN110618138B | 公开(公告)日: | 2022-06-07 |
发明(设计)人: | 贾虎;刘义;莫绪涛;张涛;丁成祥;杨辉 | 申请(专利权)人: | 安徽工业大学 |
主分类号: | G01N21/95 | 分类号: | G01N21/95;G01N21/45;G01N21/01 |
代理公司: | 安徽知问律师事务所 34134 | 代理人: | 于婉萍;平静 |
地址: | 243002 *** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本发明公开了一种利用等厚干涉原理检测显示屏中缺陷的系统及方法,属于光干涉检测技术领域。本发明中待测玻片与平整玻片之间形成空气劈尖,平行光透过空气劈尖产生干涉条纹,当待测玻片中有缺陷或杂质时,干涉条纹发生畸变,在x与y方向分别计算条纹级数及条纹宽度得到缺陷的具体位置坐标,再对其进行后续加工剪裁,可以实现较高的检测精度,操作简单方便,有效防止缺陷或杂质的漏检,得到完整无缺陷的玻璃显示屏。 | ||
搜索关键词: | 一种 利用 干涉 原理 检测 显示屏 缺陷 方法 | ||
【主权项】:
1.一种利用等厚干涉原理检测显示屏中缺陷的方法,其特征在于:包括以下步骤:/n步骤一:将平整玻片(4-2)放置于测量平台上,平整玻片(4-2)与待测玻片(4-1)之间设置一定厚度的夹块(4-5)形成空气劈尖,所述平整玻片(4-2)、待测玻片(4-1)与夹块(4-5)之间组成干涉系统,所述干涉系统上设有扫描系统;/n步骤二:通过调节扫描系统中的扫描支架调节光源部分和摄像部分的位置,使光源部分的出射光沿空气劈尖厚度增大的方向扫描待测玻片(4-1)并产生干涉条纹;/n步骤三:扫描过程中待测玻片(4-1)的缺陷处干涉条纹异常,通过光学显微模块计算异常条纹对应缺陷处至待测玻片(4-1)边缘的横向距离x,所述光学显微模块与扫描系统中的摄像部分连接;/n步骤四:将夹块(4-5)取出并放置于待测玻片(4-1)相邻侧边形成另一个空气劈尖,重复步骤二与步骤三,得到异常条纹对应缺陷处至待测玻片(4-1)边缘的纵向距离y。/n
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