[发明专利]一种提高CZ单晶炉调温效率的调温方法在审
| 申请号： | 201911041776.7 | 申请日： | 2019-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN111235626A | 公开（公告）日： | 2020-06-05 |
| 发明（设计）人： | 杨昊 | 申请（专利权）人： | 弘元新材料（包头）有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/20 | 分类号： | C30B15/20;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京睿博行远知识产权代理有限公司 11297 | 代理人： | 张燕平 |
| 地址： | 014030 内蒙古自治区包头*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种提高CZ单晶炉调温效率的调温方法，包括如下步骤，S1：准备阶段：S11：将加热机构的电源与外界的电源相连接，通过计算机程序控制启动加热机构，使得CZ单晶炉内的加热机构进行加热工作，然后CZ单晶炉内的温度在不断的进行上升；S2：调温逻辑设计阶段：S21：对CZ单晶炉外侧的计算机内的程序参数进行调温逻辑设计；S3：工作阶段：S31：同时温度检测系统中的炉膛温度传感器检测模块对CZ单晶炉内加热上升的温度数值进行实时检测。该提高CZ单晶炉调温效率的调温方法通过升高温过热逻辑、找温逻辑和回温逻辑将整个调温过程分为三个阶段，相比较传统的一步回温的调温方法，调温更加稳定，工作时间减少，从而提高调温的效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 提高 cz 单晶炉 调温 效率 方法 | ||
【主权项】：
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