[发明专利]使用基板支撑装置清洗基板背面的方法

摘要

本发明揭示了使用基板支撑装置清洗基板背面的方法，包括：终端执行器夹持基板至旋转夹盘的上方，第一气体通道和第二气体通道关闭；终端执行器向下移动至基板靠近导柱，打开第二气体通道，通过第二注入口向基板的正面喷射气体；终端执行器释放基板，关闭第二气体通道，第二注入口停止向基板的正面喷射气体，基板沿导柱的侧表面下落至导柱的支撑部并由支撑部支撑；打开第二气体通道，第二注入口喷射出的气体吹浮起基板；终端执行器从旋转夹盘的上方移走，打开第一气体通道，通过第一注入口向基板的正面吹气，利用伯努利效应使基板保持稳定的漂浮状态；旋转夹盘旋转，将至少一个喷嘴移至基板背面的上方，喷嘴向基板背面喷洒清洗液，清洗基板的背面。

主权项

1.一种使用基板支撑装置清洗基板背面的方法，所述基板支撑装置包括支撑基板的旋转夹盘和布置在所述旋转夹盘的顶表面的数个导柱，每个导柱凸伸形成支撑基板的支撑部，所述旋转夹盘开设有数个第一注入口和数个第二注入口，所述数个第一注入口与第一气体通道连接以向基板供应气体并利用伯努利原理吸附保持基板，所述数个第二注入口与第二气体通道连接以向基板供应气体并吹浮起基板，该方法包括如下步骤：/n使用终端执行器夹持基板至旋转夹盘的上方，第一气体通道和第二气体通道均关闭；/n使终端执行器向下移动至基板靠近导柱，打开第二气体通道，通过第二注入口向基板的正面喷射气体；/n使终端执行器释放基板，关闭第二气体通道，第二注入口停止向基板的正面喷射气体，基板沿导柱的侧表面下落至导柱的支撑部并由支撑部支撑；/n打开第二气体通道，第二注入口喷射出的气体吹浮起基板；/n将终端执行器从旋转夹盘的上方移走，打开第一气体通道，通过第一注入口向基板的正面吹气，利用伯努利效应使基板保持稳定的漂浮状态；/n使旋转夹盘旋转，将至少一个喷嘴移至基板背面的上方，喷嘴向基板背面喷洒清洗液，清洗基板的背面。/n